教材販売「半導体製品製造試験対策読本」

習っ得

教材販売「半導体製品製造試験対策読本」

主　な　項　目 1．酸化 　1-1　酸化法と名称　1-2　酸化膜の成長速度　1-3　酸化炉　1-4　酸化工程の異常 　1-5　酸化膜の評価　1-6　演習問題 2．イオン注入 　2-1　イオン注入の原理　2-2　イオン注入機の構造　2-3　イオン注入の特徴 　2-4　演習問題 3．エピタキシャル成長 　3-1　エピタキシャル成長法　3-2　操作の手順　3-3成長膜の異常と問題点 4．ホトリソグラフィ 　4-1　レジスト塗布工程　4-2　現像，剥離　4-3　レジスト材料　4-4　クリーンルーム内の汚染物質 　4-5　汚染分析法と略称 5．露光機 　5-1　露光機の種類　5-2　解像度向上技術　5-3　演習問題　 6．ウェット処理 7．ドライエッチング 　7-1　装置の種類と特徴　7-2　ドライエッチングに使用されるガス　7-3　演習問題 8．CVD 9．PVD 　9-1　PVDの概要　9-2　スパッタ装置　9-3　ターゲット交換手順　9-4　膜質の異常 　9-5　膜質評価法　9-6　電極と配線材料の種類と特徴　9-7　演習問題 10．平坦化技術の種類 11．薬品，ガス 　11-1　薬品・ガスに関する知識　11-2　消防法に関する知識　11-3　薬品に関する知識 　11-4　半導体プロセスにおいてよくしようされる薬品の組合せ 　11-5　薬品の性質及び人体への影響　11-6　薬品類の危険性・有害性 　11-7　主な物質の化学記号（化学式）と名称　11-8　演習問題　 12．計算問題に共通する事項 13．組立て工程の流れ 14．裏面研磨 15．ダイシング 16．ダイボンディング 17．ワイヤボンディング 18．モールド成形 19．外装メッキ 20．マーキング 21．フレーム切断，足曲げ 22．組立て評価装置 23．パッケージの種類 24．組立て工程学習のまとめ 25．集積回路製造設備および関連機器 　25-1　露光装置　25-2　CVD装置　25-3　真空機器　 　25-4　プロセス監視装置（モニタ），検知器（センサ）等　25-5　測定装置・計器 　25-6　分析装置，電子顕微鏡，外観監視装置　25-7　パッケージ内部監視装置 　25-8　その他関連機器≪教材販売≫ 半導体製品製造試験対策読本 　AA1
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